在半導(dǎo)體材料和器件的研究和生產(chǎn)中經(jīng)常要使用各種具劇毒高毒及易燃，易爆特性的氣體，其中最典型的即為確烷和磷烷這兩種氣體常用作一族半導(dǎo)體外延材料的生長源在氣相外延(PE),金屬有機(jī)物氣相外延(IOVPE)I氣態(tài)源分子束外延(GSMBE)及化學(xué)隸外延(CBE)等中提到廣泛應(yīng)用,在其它一些平導(dǎo)體工藝如離子注人，擴(kuò)散。多品及非品硅沉積等中也常用作摻雜劑。
由于這兩種氣體均為劇毒，燃?xì)怏w,磷烷遇空氣還能自燃，因此在實際工作中無論是從影響人體健康的環(huán)保因素考慮，還是從保證安定的角度考慮，都必須對工作空間中這些氣體的環(huán)境濃度進(jìn)行有效的實時監(jiān)測，并具備可靠的泄漏安全報警裝置砷烷和磷烷的環(huán)境允許濃度甚低,分別僅為 5ppb~3o0ppb,在幾個ppm的濃度下即會產(chǎn)生急性中毒癥狀,
巡檢機(jī)器人"基于OCR和圖像識別能力，能模擬專業(yè)的人工操作，在全站多級頁面與資金交易全流程的各個場景進(jìn)行點擊、識別、檢查等巡檢操作，搭配深國安在線磷烷砷烷二合一氣體檢測儀，能有效的提高巡檢的速度跟人員的安全保障，

在線磷烷砷烷二合一氣體檢測儀特點:
1，用深國安典型的家族式盾形外觀設(shè)計，配備工業(yè)級鋁合金防護(hù)外殼，堅固耐用2，2.4英寸超大屏幕，顯示目標(biāo)氣體、濃度、單位、指示燈工作狀態(tài)等各項參數(shù);
中英文、繁體，操作界面，適合所有人群，*聲光報警功能，三級報警點自由設(shè)置，當(dāng)氣體濃度超標(biāo)時，自3.
發(fā)出85dB以上的報警聲響。
同時支持一鍵消音;4，
5，*的數(shù)據(jù)存儲功能，客戶可通過有線或無線連接，將數(shù)據(jù)打印或?qū)С?國外進(jìn)口芯片，精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)誤差率低;
6，多種信號傳輸，兼容90%以上廠家的氣體報警控制器、PLC、DCS、DDC等上位機(jī)系統(tǒng)，全量程溫濕度補(bǔ)償，32位納米級微處理器+24位超高ADC采集芯片，確保產(chǎn)品在運行過程的數(shù)據(jù)穩(wěn)定;