在環(huán)境空氣質(zhì)量監(jiān)測范疇中，對于二氧化氮（NO?）的在線監(jiān)測已經(jīng)較為普遍。因?yàn)槎趸∟O?）本身就是《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB 3095-2012 所涉及的六項(xiàng)環(huán)境空氣基本污染項(xiàng)目之一。該標(biāo)準(zhǔn)中明確規(guī)定，二氧化氮（NO?）的年平均濃度限值為 40μg/m3、24 小時平均濃度為 80μg/m3、1 小時平均濃度為 200μg/m3。

那為什么要對環(huán)境空氣中的二氧化氮進(jìn)行監(jiān)測，其原因和作用是什么呢？二氧化氮其本身就是具有毒性的。吸入過量后，輕度的會造成咳嗽、呼吸困難、胸悶等癥狀，而重度的可能引發(fā)肺水腫、損害呼吸道。二氧化氮還會刺激眼睛，其分解產(chǎn)生的無定型二氧化硅顆粒會引發(fā)眼部不適；吸入高濃度的二氧化氮會引起頭痛、頭暈并刺激上呼吸道，過度吸入還會誘發(fā)肺炎和腎病，高濃度環(huán)境下甚至可能因自燃造成熱灼傷，對現(xiàn)場工作人員的健康構(gòu)成嚴(yán)重威脅。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，二氧化氮是多種核心工藝的關(guān)鍵氣體或副產(chǎn)物，應(yīng)用場景貫穿薄膜沉積、刻蝕、表面鈍化等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝中，二氧化氮作為氮氧化物源，與硅烷、TEOS 等前驅(qū)體反應(yīng)，生成磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG）薄膜，用作芯片層間介質(zhì)，提升器件可靠性與表面平坦化效果；在硅表面鈍化工藝中，二氧化氮可在硅片表面形成氮氧化物薄層，降低界面態(tài)密度，改善芯片電學(xué)性能；此外，它還參與等離子體刻蝕、離子注入等工序，同時也是氮化硅蝕刻等過程的副產(chǎn)物，若泄漏或超標(biāo)積聚，不僅會危害人員健康，還可能腐蝕精密設(shè)備、降低芯片良品率。

深國安帶 SLI2 安全認(rèn)證的在線二氧化氮?dú)怏w檢測儀，專為半導(dǎo)體現(xiàn)場二氧化氮檢測打造，契合半導(dǎo)體行業(yè)高精度、高可靠性的氣體監(jiān)測需求。該設(shè)備可 24 小時連續(xù)在線監(jiān)測二氧化氮濃度及環(huán)境溫濕度，支持同時擴(kuò)展檢測 1～6 種氣體濃度和溫濕度，適配半導(dǎo)體車間多氣體協(xié)同監(jiān)測場景。

設(shè)備采用 2.5 寸高清彩屏實(shí)時顯示數(shù)據(jù)，選用性能穩(wěn)定的電化學(xué)氣體傳感器，搭配先進(jìn)的電路設(shè)計(jì)與成熟的內(nèi)核算法處理，已取得多項(xiàng)軟件著作，檢測精度與穩(wěn)定性符合半導(dǎo)體嚴(yán)苛生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。它既可以檢測管道中、受限空間及大氣環(huán)境中的氣體濃度，也能精準(zhǔn)檢測氣體泄漏與高濃度單一氣體純度，覆蓋半導(dǎo)體工藝管道、潔凈室、排風(fēng)管道、氣體存儲區(qū)等全場景監(jiān)測需求。

檢測儀配備堅(jiān)固耐用的防爆外殼，采用氟碳漆表面處理工藝，耐磨損、防腐蝕，10 年內(nèi)不褪色不掉漆，可適應(yīng)半導(dǎo)體車間強(qiáng)酸強(qiáng)堿的腐蝕性環(huán)境與各類危險(xiǎn)場所，運(yùn)行穩(wěn)定可靠。

深國安帶 SLI2 安全認(rèn)證的在線二氧化氮?dú)怏w檢測儀特點(diǎn)

任何氣體尺寸統(tǒng)一、信號統(tǒng)一、用法統(tǒng)一；

擴(kuò)散式、泵吸式兩種采樣方式可選，適配半導(dǎo)體不同監(jiān)測點(diǎn)位需求；

可選配專屬標(biāo)氣罩，由擴(kuò)散式氣室變成泵吸式氣室，靈活適配多場景采樣；

一體泵吸式氣室可選，方便泵吸式采樣，滿足管道、密閉空間等特殊場景監(jiān)測；

只需對接一次，即可對應(yīng) 1000 多種二硫化碳、有毒和揮發(fā)性氣體，一勞永逸，適配半導(dǎo)體多氣體擴(kuò)展監(jiān)測需求。

該檢測儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用，既能實(shí)時監(jiān)測二氧化氮濃度，通過現(xiàn)場聲光報(bào)警與遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)傳輸功能，及時預(yù)警濃度超標(biāo)風(fēng)險(xiǎn)，保障工作人員人身安全；又能通過持續(xù)監(jiān)測工藝氣體濃度與泄漏情況，保護(hù)精密生產(chǎn)設(shè)備，避免因二氧化氮腐蝕或雜質(zhì)污染導(dǎo)致的芯片良品率下降，為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的安全、穩(wěn)定、高效運(yùn)行提供堅(jiān)實(shí)保障。